前英特尔CEO入局光刻机革命！FEL-EUV光源宣称成本砍2/3，2028年直击ASML命门

英特尔前CEO帕特·基辛格加入初创公司xLight担任执行董事长，该公司致力于开发基于自由电子激光技术的EUV光源系统，号称可将光刻机光源成本降低3倍、功率提升4倍，并计划2028年实现商用。该技术若成功可能打破ASML在EUV光源领域的垄断格局，但面临技术落地、设备兼容性及ASML反制等不确定性。